与传统清洗方式相比,激光清洗拥有一些传统清洗方式无法实现的优势。激光清洗是一种非接触式清洗,对基材的损伤小,有着较高灵活性、稳定性和自动化特点,清洗质量好、精度高,保护环境,是一种“绿色”自动化的清洗设备。
激光清洗技术是使用高频短脉冲激光作为工作介质的清洁解决方案。特定波长的高能光束被锈蚀层、油漆层、污染层吸收,形成急剧膨胀的等离子体(高度电离的不稳定气体),同时产生冲击波,冲击波使污染物变成碎片并被剔除从而达到洁净化的工艺过程。
1、干式激光清洗即脉冲激光直接照射清洗工件,使基底或表面污染物吸收能量温度升高,产生热膨胀或基底热振动,进而使二者分离。该方法大致分为2种情况:一种是表面污染物吸收激光膨胀;另一种是基底吸收激光产生热振动。
2、湿式激光清洗是在脉冲激光照射待洗工件前,先进行表面预涂液膜,在激光的作用下液膜温度快速升高而气化,气化的瞬间产生冲击波,作用在污染物颗粒中,使其从基体上脱落。此方法要求基体与液膜不能发生反应,故限制了应用材料的范围。
3、激光等离子体冲击波是在激光照射过程中击穿空气介质而产生球状等离子体冲击波,冲击波作用在待洗基体表面并且释放能量将污染物去除;激光未作用于基体,因此对基体不产生伤害。激光等离子体冲击波清洗技术现已可以清洗几十纳米粒径的颗粒污染物,并且对激光波长没有限制。
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